电液伺服体系中常用的位置检测元件有自整角机、旋转变压器、感应同步器和差动变压器等。伺服放大器为伺服阀提供所需求的驱动电流。电液伺服阀的作用是将小功率的电信号转换为阀的运动，以操控流向液压动力机构的流量和压力。因而，电液伺服阀既是电液转换元件又是功率放大元件，它的功能对体系的特性影响很大，是电液伺服体系中的要害元件。液压动力机构由液压操控元件、执行机构和操控目标组成。液压操控元件常选用液压操控阀或伺服变量泵。常用的液压执行机构有液压缸和液压马达。液压动力机构的动态特性在很大程度上决定了电液伺服体系的功能。

（1）作业油液因进入污物而变质，进入油液中的污物(如灰、砂、土等)。污物会构成零件的磨损与腐蚀，尤其是关于精加工的零件，它们会擦伤胶皮管的内壁、油封环和填料，而这些东西损伤后又会导致更多的污物进入体系中，这样就构成恶性循环的损坏。

（2）体系过热。过热将使油液迅速氧化，氧化又会释放出难溶的树脂、污泥与酸类等，而这些物质聚积油中构成零件的加速磨损和腐蚀，且它们粘附在精加工零件表面上还会使零件失去原有功能。油液因过热变稀还会使传动作业变缓慢。电液执行器

（3）油液中进入空气。空气进入油中除引起过热外，也会有适当数量空气在压力下被溶于油内。如果被紧缩的体积大约有10%是属于被溶的空气，则压力下降时便会构成泡沫。而作业液压缸在减压回油时，带泡沫的油液就会构成"海绵"的性质。此外，油中含有许多泡沫会增加总体积，将构成油箱或储油器的溢油现象。

为改进体系功能，电液伺服体系常选用串联滞后校对来进步低频增益，降低体系的稳态差错。此外，选用加速度或压力负反馈校对则是进步阻尼功能而又不降低效率的有效方法。

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